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鄭州半導(dǎo)體、電子潔凈廠房設(shè)計(jì)與施工要求

發(fā)布時(shí)間:2023-04-15 09:29:17

鄭州半導(dǎo)體、電子潔凈廠房設(shè)計(jì)與施工要求文章概要:這個(gè)表格是我們半導(dǎo)體制造一些工藝生產(chǎn)過(guò)程的潔凈等級(jí)要求,要求一般的是光照制造,還有微環(huán)境,其他的一些大的區(qū)域,包括薄膜等在百級(jí)。潔凈度的要求是不是越高越好,這個(gè)主要還是決定我們的設(shè)計(jì),或者對(duì)生產(chǎn)的要求,潔凈度越高意味著FFU覆蓋率會(huì)成倍的增加。目前對(duì)一些潔凈室的設(shè)計(jì)還是大環(huán)境,不需要很高的潔凈度。還有

鄭州半導(dǎo)體、電子潔凈廠房設(shè)計(jì)與施工要求

這個(gè)表格是我們半導(dǎo)體制造一些工藝生產(chǎn)過(guò)程的潔凈等級(jí)要求,要求一般的是光照制造,還有微環(huán)境,其他的一些大的區(qū)域,包括薄膜等在百級(jí)。潔凈度的要求是不是越高越好,這個(gè)主要還是決定我們的設(shè)計(jì),或者對(duì)生產(chǎn)的要求,潔凈度越高意味著FFU覆蓋率會(huì)成倍的增加。

目前對(duì)一些潔凈室的設(shè)計(jì)還是大環(huán)境,不需要很高的潔凈度。還有濕度控制,濕度控制主要通過(guò)循環(huán)通氣冷卻系統(tǒng),去除潔凈室循環(huán)空氣的顯熱,**終控制潔凈室溫度。濕度控制主要通過(guò)新風(fēng)控制箱進(jìn)行控制,溫度的控制目的有兩個(gè),是人員的舒適性,溫度在21-23度都沒(méi)有問(wèn)題,作為制程來(lái)說(shuō)我們關(guān)注的是波動(dòng)性??刂茲崈舴康臐穸戎饕康氖菨穸冗^(guò)低將容易產(chǎn)生靜電、濕度過(guò)高,對(duì)產(chǎn)品的影響。第二點(diǎn)是正壓,通過(guò)潔凈室內(nèi)的壓力傳感器控制MAU風(fēng)機(jī)的頻率改變送風(fēng)量保持潔凈室的設(shè)定正壓,靜壓層保持微正壓。

再來(lái)就是照度和噪聲,這個(gè)部分在新的標(biāo)準(zhǔn)里面有詳細(xì)的描述,這里不具體講了。因?yàn)楝F(xiàn)在半導(dǎo)體制造設(shè)備尺寸越來(lái)越大,安裝起來(lái)一部分照明會(huì)被遮掩,噪聲的問(wèn)題比較難解決,主要在設(shè)備選型的時(shí)候注意。接下來(lái)是靜電控制的問(wèn)題(ESD),這個(gè)本身會(huì)造成產(chǎn)品的損害或者設(shè)備的損害,半導(dǎo)體有ESD的標(biāo)準(zhǔn)。

山東盛之源凈化設(shè)備有限公司在各產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域工程建設(shè)的道路上繼續(xù)堅(jiān)持以科技為向?qū)В再|(zhì)量為準(zhǔn)則,以客戶滿意為宗旨,嚴(yán)格遵守和落實(shí)**:2000標(biāo)準(zhǔn)、《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》以及**規(guī)范要求,全過(guò)程項(xiàng)目管控,以項(xiàng)目類型為定調(diào),定制化項(xiàng)目設(shè)計(jì)、實(shí)施的全產(chǎn)業(yè)化流程,解決客戶痛點(diǎn),憑借自身的技術(shù)及經(jīng)驗(yàn)為客戶提供完備的環(huán)境控制工程整體系統(tǒng)集成解決方案的**服務(wù)。

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