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風淋室在微電子行業(yè)中使用的結構原理

發(fā)布時間:2023-12-28 09:42:10

風淋室在微電子行業(yè)中使用的結構原理文章概要:微電子行業(yè)使用的風淋室跟普通場所用的風淋室除了部分細節(jié)方面的設置以外,總體結構原理基本相同,微電子行業(yè)使用的風淋室對除塵效果要求相對會更高的一些,如果一個小的部件做不到位,那可能帶來的就無法估量了,凈化在這里簡單說一下風淋室的結構原理。1、概述:風淋室是潔凈廠房和裝配式潔凈室的設備,用于吹除進入凈化

風淋室在微電子行業(yè)中使用的結構原理

微電子行業(yè)使用的風淋室跟普通場所用的風淋室除了部分細節(jié)方面的設置以外,總體結構原理基本相同,微電子行業(yè)使用的風淋室對除塵效果要求相對會更高的一些,如果一個小的部件做不到位,那可能帶來的就無法估量了,凈化在這里簡單說一下風淋室的結構原理。

1、概述:風淋室是潔凈廠房和裝配式潔凈室的設備,用于吹除進入凈化廠房的人體和攜帶物品表面附著的塵埃,同時風淋室也起到氣閘的作用,防止未經凈化的空氣進入潔凈區(qū)域,是進行人體凈化和防止外空氣污染潔凈區(qū)的有效設備。

結構:系列風淋室均采用發(fā)泡隔熱彩色壁板及鋁合金構件裝備而成,配置離心機風機及初效和空氣過濾器,具有外型美觀、結構緊湊、檢修方便、操作簡單等特點。

2、原理:風淋室內的空氣由風機的作用經初效過濾器進入靜壓箱,經空氣過濾器過濾后,潔凈空氣從風淋室的噴嘴高速噴出,噴嘴角度可調節(jié),可有效地吹除人特或攜帶物品表面附著的塵埃,吹下的塵埃再回收進入初效空氣過濾器,如此循環(huán)可以達到風淋的目的。

3、用途及特點:風淋室是操作人員進入潔凈室時使用的人身凈化裝置,它利用高速潔凈氣流吹淋除掉進入室內人員身上的污物,其噴嘴可調節(jié),以便有效除去人身上的灰塵,并阻止外界污染進入潔凈區(qū)域。它也可應用于大件貨物的吹淋。

4、設備組成:主要由室體、照明、過濾系統(tǒng)、風機組、吹嘴、電控等部分組成。

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